| 摘要:本文提出了一种新方法来解决传统静电驱动的电容式微机电(MEMS)开关的驱动电压过高的问题，通过对介质层 预先注入和存储适量的电荷，在该介质层中形成稳定的内建电势，这将优化MEMS固支梁的下拉操作，从而有效降低MEMS开关的驱动电压。此外，在开关制备完成后，仍可通过调控介质层中注入电荷的数目来调节内建电势大小，从而在不改变MEMS开关结构参数的条件下实现MEMS开关驱动电压的可重构功能，建立了该新型MEMS开关的解析模型，对该新型模型进行分析，并验证了模型的正确性。 |
| 关键词: MEMS开关、电荷注入、驱动电压、可重构 |
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