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| 针对电涡流位移传感器电路结构复杂、线性度低等问题，本文采用数字锁相放大技术来测量传感器线圈损耗，再通过线圈损耗测量位移大小。充分利用了STM32F3系列单片机的片内资源：片内数模转换器与DMA控制器配合产生激励信号，模数转换器与DMA控制器配合采集信号，浮点运算器运行数字锁相放大器算法，最后用片内数模转换器输出线性校准后的数值，实现了一种新型的电涡流位移传感器。传感器的电路简洁，线性度优于0.51%，动态响应时间小于2毫秒。 |
| 关键词: 数字锁相放大器 电涡流位移传感器 相位测量 幅度测量 阻抗测量 |
| DOI：10.3969/j.issn.1005-9490.2022.02.032 |
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| 基金项目:国家自然科学基金项目（面上项目，重点项目，重大项目） |
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