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| 针对目前在晶体内部微缺陷研究上的检测精度较低、检测尺度不足的问题，提出了一种基于四焦距相位相干机器视觉的晶体内部微缺陷检测法，并建立了相应的检测系统。本方法通过四焦距相位相干光路，将晶体内部缺陷的相位信息转化为灰度信息，形成晶体内部缺陷特征图像。利用机器视觉算法，提取缺陷特征图像中的相位信息丢失点，并通过滤波算法对这些点进行恢复。然后通过特征提取、灰度分析算法，对缺陷特征图像进行处理分析，最后得出晶体内部缺陷的厚度，完成对晶体内部微缺陷的检测。实验结果表明，利用该方法对有机玻璃表面中心镀60nm的二氧化硅膜的模拟相位缺陷进行检测，相对误差为1.83%，检测分辨率达到纳米量级。相对于动态泰曼干涉仪检测的2.4%的相对误差以及激光聚焦线扫描法的40um检测分辨率，有着较大的提升，也证明所提出的方法能够有效运用于晶体内部的微缺陷的检测。 |
| 关键词: 图像处理 相位相干 机器视觉 晶体 缺陷检测 |
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