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| 在继电保护实际运行中，屏柜内部一些隐性故障将造成压板投退失效，严重威胁着电网的安全可靠运行。为了能够可靠、有效地监测出口压板的带电状态或电气导通性，本文设计了一种SOI差分电容式MEMS电场传感器。所设计的传感器以微机械元件物理设计为基础，构造出可靠的运行结构，并且依靠一个低噪声、高动态范围的接口IC来完成操作。所设计的接口集成电路可以应对脉冲式的间歇性操作的同时，组织互补设备阵列以感应各种不同的测量信号。通过COMSOL Multiphysics仿真实验可以看出，所设计的传感器能够很好地满足压板状态监测的需求。 |
| 关键词: 继电保护 电场传感器 ＭＥＭＳ 硬压板 |
| DOI：10.3969/j.issn.1005-9490.2024.01.014 |
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| 基金项目:南方电网公司科技项目(项目编号:030600KK52220011[GDK]XM20220154)。 |
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