| 摘要:提出了一种基于红外光谱吸收原理的高动态MEMS气体集成传感器，实现了同时检测CO2、CH4和CO三种气体浓度。在传感器的光学系统部分，采用了非分光红外与差分检测技术，开发了一种直射型气室，协同设计了红外光源与多通道传感器。在传感器及其硬件电路部分，设计了多通道热电堆传感器、光源驱动电路与信号调理电路。此外，通过单片机控制红外光源亮灭与AD采集电压，记录浓度。最后，搭建气体测试平台，测量出在不同气体浓度下传感器的输出电压。经实验，该传感器实现了对CO2、CH4和CO三种气体分别在0~9150×10^-6、0~3460×10^-6和0~5036×10^-6浓度范围内测量，其精度分别为2.30% F.S、3.64% F.S和3.85% F.S。 |
| 关键词: 高动态 红外 CO2/CH4/CO气体 集成传感器 |
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